TG体育华中科技大学团队成功研发国内首款全自主计算光刻 EDA 之 OPC 软件

  新闻资讯     |      2022-12-01 02:49

  11 月 26 日音讯,据华夏光谷、湖北卫视等报途,华中科技大学路授刘世元创办的宇微光学软件有限公司(简称“宇微光学”),已乐成研发世界产、自决可控的计算光刻 OPC 软件,扩充国内空白。今朝正在做集成与测试,并到芯片生产厂商做验证,孵化企业的武汉光电工研院也将供给本事转变任职

  OPC 软件,即“光学临近删改软件”,是芯片想象器械 EDA 的一种,没有它,即行使了光刻机,也造不出芯片。

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  据刘世元介绍,光刻是芯片创造中最为枢纽的一种工艺,原委光刻成像体例,将遐想好的图形转折到硅片上。随着芯片尺寸不停紧缩,硅片上的曝光图形会产生畸变。在 90nm 乃至 180nm 以下芯片的光刻制造前,都必须采用一类名为 OPC(光学附近校正)的算法软件进行优化。没有 OPC,全豹 IC 缔造厂商将失去将芯片设计改变为芯片产品的技能。

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  刘世元是华中科技大学光学与电子新闻学院、板滞科学与工程学院双聘教授,博士生导师;华中科技大学集成电途勘测摆设斟酌要旨主任,同时也是光谷操演室集成电道勘察检测能力立异焦点主任。我从前师从华中理工大学前校长、出名机械学家杨叔子院士,于 1998 年获工学博士学位。

  刘世元在 2002 年加盟上海微电子设备有限公司 (SMEE),承担国家 863 雄伟专项 ——“100nm 光刻机”研制做事,为总体组成员、驾御学科掌管人。刘世元组修了 SMEE 第一个把握工程演习室,处置了扫描投影光刻机中掩模台、工件台、曝光剂量等同步独揽的能力贫乏。

  2020 年 10 月,刘世元成立宇微光学公司。当前,团队除 2 名行政人员外,全局为研发人员,我们来自华夏、美国、俄罗斯等不同国家,在关联边界均为顶尖手艺专家,30% 以上成员占领博士学位,具有丰富的行业经验。最终打造出自主可控的 OPC 软件算法。

  IT之家获悉,宇微光学近期告示竣工 Pre-A 轮数切切元融资。本轮融资完成后,宇微光学将进一步深化各中央模块的集成化与软件产品化,同时对各项软件参数举办标定、测试与验证。下一步,宇微光学将加快产品实施措施,加速加入国内外芯片创制厂商市集,力争成为举世芯片财富链中关键的一环。